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3D检测模块专为半导体检测系统研发的快速检测模块,利用白光三角测量方法,为微凸块、RDL、激光切割沟槽、硅通孔(TSV)、接触焊盘、金凸块、探针标记和管芯上的3D元件提供了简单快速的计量,能够实现快速采样、高精度、亚微米高度和深度测量
√自研白光照明的聚焦、缩倍系统,匹配定制特殊成像系统,以实现缺陷测量
√高速(1微秒)、高精度(亚微米级)、高均匀度(>90%),复杂表面(粗糙、高反光或透明材料)。
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