主要应用领域：√半导体⾏业领域：晶圆制造和检测、芯⽚封装检测、键合检测√显⽰..
√⽀持≤16mm靶⾯的显微成像√采⽤同轴科勒照明，均匀性⾼（≥0.9）√⽀持扩展激光光..
√⽀持≤30mm靶⾯的显微成像√采⽤同轴科勒照明，均匀性⾼（≥0.9）√⽀持扩展激光光..
√⽀持≤30mm靶⾯的显微成像√采⽤同轴科勒照明，均匀性⾼（≥0.9）√⽀持扩展激光光..
√⽀持≤30mm靶⾯的显微成像√采⽤同轴科勒照明，均匀性⾼（≥0.9）√配置激光⾃动对..
√⾼均匀投影、成像单元，⽀持全硬件平台的定制；√使⽤⾮相⼲⽩光光源，避免因激光..
√⽀持≤30mm靶⾯的显微成像√采⽤同轴科勒照明，均匀性⾼（≥0.9）√配置激光⾃动对..
√⽀持≤32mm靶⾯的显微成像√采⽤同轴科勒照明，均匀性⾼（≥0.9）√配置激光⾃动对..
√耐久性好√性价比高√本体重量轻√无外部驱动
l耐久性好l性价比高l本体重量轻
√光编码反馈，精度高达纳米级√支持数字信号和模拟信号同时控制√支持行程调..
√大闭环行程范围√支持数字信号和模拟信号同时控制√亚纳米级分辨率√精度高、..
