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一文了解紫外波片如何实现高功率应用

紫外激光波长通常介于100nm至400nm之间,这使得它在材料加工领域具备独特的优势和广泛的应用。紫外激光以其高能量密度和短波长的特性而闻名,能够将能量迅速集中到微小的区域内。因此,它可用于进行精细加工,尤其在微观尺度上表现突出。


举例而言,紫外激光刻蚀技术在半导体芯片制造中扮演着核心角色。随着对紫外激光功率要求的不断提升,开发紫外高功率波片变得至关重要。



普通紫外高功率低级波片结构通常是将一片石英晶体基底抛光后,在其表面镀上紫外增透膜

尽管这种工艺能够确保较高的功率和透过率,但在实际使用中存在以下不足之处:由于紫外波长极短,即使将单片加工到0.05-0.1mm的厚度,波片的级数仍然相对较高。因此,在使用过程中,产品容易因太薄而容易碎裂。在性能方面,波片的宽带、接收角和温度稳定性往往难以满足需求。


为了解决现有波片因单片石英晶体过薄而易破裂的问题, 戴斯光电提出了一种紫外高功率波片设计。通过在石英晶体的一侧镀上紫外增透膜,并添加一片紫外融石英用于支撑石英晶体,将石英晶体置于紫外融石英与紫外增透膜之间。



这种设计利用紫外融石英支撑石英晶体,无需增加石英晶体的厚度,却能显著提高其机械强度。

因此,波片得以承受更高功率的紫外波段激光,延长石英晶体的使用寿命并减少破裂风险。相较于传统的低级波片,此设计在紫外波长下表现出更稳定的温度性能、更广泛的接收角范围和更宽的接收波长带宽,实现一举两得的效果。



*技术演示



利用光胶在第一层和第二层二氧化硅之间形成一层二氧化硅膜,实现了将紫外融石英和石英晶体相连的目的。该波片的结构排列为紫外增透膜/紫外融石英/二氧化硅膜/石英晶体/紫外增透膜。光胶的运用使得紫外融石英、第一层二氧化硅、第二层二氧化硅和石英晶体之间形成了坚固的键合,从而能够承受更高功率的紫外激光。


同时,在波片表面镀上抗激光损伤的紫外增透膜,提升透过率。


波片技术在各种激光和光学应用中都具有广泛的应用潜力,可以为相关行业带来更高效、更可靠的解决方案,推动技术的进步和创新。

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